資源與設備 | 社區大學終身學習網
![資源與設備](https://i.imgur.com/1IaoGs0.jpg)
中央研究院物理研究所圖書室成立於民國51年(1962),為一學術性專門圖書館。成立的目的 ...
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苗宗悰博士 02-2789-8933
本公用實驗室提供各式量子材料量測分析及微奈米製程服務。其主要設施包括Class 6無塵室,內有電子束微影、雷射直寫和光罩對準紫外光微影系統,以及蒸鍍及蝕刻等設備。量測則有物理性質量測系統、超導量子干涉儀、X-ray、掃描式電子顯微鏡、震動樣品磁化儀及表面測量等提供使用。
MORE[1] References MORE (www.phys.sinica.edu.tw)
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中央研究院物理研究所Institute of Physics | 社區大學終身學習網
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